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MOCVD涂層石墨盤

產品概述
     SIC 涂層石磨基座具有耐高溫、抗氧化、純度高和耐酸堿鹽及有機試劑等特性,物理化學性能穩定。與高純度石墨相比較,高純石墨在400℃時開始發生強烈氧化,即 使溫度不高,長期應用也會因氧化而掉粉末,會依附工件和臺面或污染使用環境,因此SIC涂層石墨基座作為一種新耗材MOCVD設備、粉末燒結等工序上逐 漸代替高純石墨。
主要特點
   1.高溫抗氧化:抗氧化,溫度高達1600℃時抗氧化性能仍然非常好;
   2.純度高:高溫氯化條件下化學氣相沉積方法制得的;
   3.耐沖刷:硬度高、表面致密、顆粒細;
   4.抗腐蝕性:耐酸、堿、鹽及有機試劑;
   5.SIC表面層為β-碳化硅,屬面心立方。
  主要參數

性能

單位

數值

表觀密度

g/cm3

3.15-3.20

莫氏硬度

-

9.5

晶格常數

nm

α 0.434

熱傳導率

W/m.K

80

熱膨脹率

10-6-1

4.8×10-6

產品應用
外延生長用的石墨基座涂層(包括Veeco,AIXTRON,Thomas Swan)。
聯系方式:
   訂購熱線:0534-2129266
*公司網址:http://www.guojingxincai.com

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